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日立掃描電子顯微鏡SU1510型的主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
一、日立掃描電子顯微鏡SU1510牡奶氐惻br /> 1. 儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。
2. 標(biāo)配低真空功能，可以對不導(dǎo)電進(jìn)行無噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。
3. 可載入直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進(jìn)行元素分析。
4. 強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能，可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統(tǒng)，潔凈無污染。

二、日立掃描電子顯微鏡SU1510型的技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目	內(nèi)容
二次電子分辨率	3.0nm（高真空，30kV）
背散射電子分辨率	4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
倍率	5～300,000倍
加速電圧	0.3～30 kV
樣品臺	X ：0～80 mm Y ：0～40 mm Z ：5～50 mm T ：-20°～ 90° R：360°
樣品臺控制	手動（可選：2軸馬達(dá)）
載入樣品尺寸	直徑：153 mm
觀察范圍	直徑：126 mm（XYR并用）
樣品高度	60 mm（WD=15 mm）
低真空范圍	6-270Pa(從菜單設(shè)定)
燈絲	預(yù)對中鎢燈絲
物鏡光闌	4孔可變光闌
槍偏壓	固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓
檢測器	二次電子檢測器，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
EDX分析位置	WD=15,TOA=35°
真空系統(tǒng)	分子泵1臺，機(jī)械泵1臺
安全措施	停電，漏電，自動保護(hù)

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